檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "徐勝均".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="extreme ultraviolet (EUV) lithography"
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本論文將粒子群多目標最佳化(MOPSO)演算法整合到光源和光罩同步優化(SMO)過程中,以增強極紫外(EUV)光刻成像的性能。本研究開發了同步處理光源和光罩圖案的方法。對於自由形式的光源結構基於像素…